Motori a bobina vocale rettangolare motori lineari a lungo percorso per l'industria dei semiconduttori

Descrizione del prodotto:

Gli attuatori rettangolari della serie VCAS offrono una spinta inferiore per unità di peso rispetto agli attuatori cilindrici, ma hanno una corsa più lunga e una gamma di spinte fino a 1000 N e 250 mm.La serie di attuatori rettangolari VCAS è una soluzione ideale per il movimento dell'asse X-Y, con le industrie dei semiconduttori e delle micro-macchine utensili come mercati primari.

I motori a bobina vocale rettangolare i motori lineari offrono i vantaggi di una risposta rapida, un controllo preciso e nessun attrito di contatto.
I loro motori a bobina vocale rettangolari svolgono un ruolo vitale nelle apparecchiature di produzione di semiconduttori,con una lunghezza massima di 20 mm o più, ma non superiore a 30 mm.
La fotolitografia è un'attrezzatura chiave nel processo di produzione dei semiconduttori per il trasferimento di schemi di circuito su wafer di silicio.Il processo di fotolitografia richiede estrema precisione e rapida rispostaI motori a bobina vocale rettangolare con alta accelerazione, controllo della posizione preciso e movimento senza usura sono ideali per l'uso in sistemi di allineamento e scansione litografica.
Nel manipolamento dei wafer: i motori a bobina vocale rettangolare i motori lineari sono utilizzati nei processi di taglio, imballaggio e collaudo dei wafer per un controllo preciso della posizione e una risposta rapida; nei processi di manipolamento dei wafer,è necessario un movimento accurato e rapido delle waferI motori a bobina vocale forniscono un movimento lineare senza attrito per garantire un posizionamento altamente preciso.

Parametri del prodotto:

Applicazione: