Motore a bobina mobile rotante ad alta precisione per apparecchiature di ispezione di wafer a semiconduttore

Luogo di origine porcellana, Suzhou
Marca SUPT MOTION
Certificazione ISO9001-2000
Numero di modello Serie di VARS
Quantità di ordine minimo 1 pezzo
Prezzo $102-$210
Imballaggi particolari Cartone che imballa ecc.
Tempi di consegna 1-5 pezzi, 5 giorni. >20 pezzi, da negoziare
Termini di pagamento T/T
Capacità di alimentazione Negoziabile

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Dettagli
Peso 65g Lunghezza 81 mm
Voltaggio 8.4v Modello del prodotto VARS0120-020-00A
Forza di punta 1,2 Nm Ictus totale 20 °
Tipo Micromotore Materiale dell'alloggiamento Alluminio
Tipo di movimento Rotante
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Modello Prezzo
VARS0022-0032-00B 210 dollari.
VARS0048-0030-00A 175 dollari.
VARS0706-0014-00A $ 150
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Modello Prezzo
Descrizione di prodotto
Descrizione del prodotto:
Motore rotativo a bobina mobile resistente alle radiazioni e ad alta precisione, progettato specificamente per l'ambiente ostile dell'ispezione dei wafer a semiconduttore, in grado di operare stabilmente sotto vuoto di 10⁻⁶ Pa e forti radiazioni. Il motore utilizza speciali materiali isolanti resistenti alle radiazioni, con avvolgimenti privi di volatili organici per evitare di contaminare la superficie del wafer. Supporta la rotazione continua a più angolazioni e il posizionamento angolare preciso, utilizzato per azionare le sonde di ispezione per regolare l'orientamento. La struttura di rotazione senza contatto garantisce l'assenza di usura e la non generazione di particelle, soddisfacendo i requisiti di camera bianca dell'industria dei semiconduttori. L'uscita di coppia è fluida, la precisione di posizionamento raggiunge ±0,08° e la velocità di risposta è elevata, rendendolo adatto all'ispezione dei difetti dei wafer, alla misurazione dimensionale e ad altre apparecchiature per migliorare l'efficienza di ispezione e l'accuratezza dei dati, supportando l'aggiornamento dell'automazione delle linee di produzione di semiconduttori.
 

 

Caratteristiche:

  • Nome del prodotto: Motore rotativo a bobina mobile
  • Peso: 65g
  • Dimensioni: 81*73.4*32mm
  • Nome: Motore rotativo a bobina mobile
  • Corsa: 20°
  • Durata: 10000h
  • Livello di vuoto: 10⁻⁶ Pa
  • Tolleranza alle radiazioni: ≥10⁵ Gy
  • Precisione di posizionamento: ±0,08°
  • Gamma di coppia: 1,2 N·m
  • Velocità di rotazione: 100-800 giri/min
  • Grado di protezione: IP67 (sigillato sottovuoto)
  • Caratteristica speciale: Motore a bobina mobile curva, VCM rotante, Motore rotativo a bobina mobile

Parametri tecnici:

Parametri Dettagli
Tipo Motore rotativo a bobina mobile (Rotary VCM, Rotary voice coil Actuator)
Garanzia 1 anno
Corsa 20°
Coppia di picco 1.2N-m
Rumore Basso
Dimensioni 81*73.4*32mm
Lunghezza 81mm
Velocità Alta
Peso 65g
Voltaggio 8.4V
Modello del prodotto
Coppia di picco
(N-m)
Coppia continua
a 25℃(N-m)
Corsa totale
gradi
( grado)
Voltaggio massimo
(V)
Costante EMF inversa
(V/m/s)
Peso della bobina(g) Lunghezza
(mm)
Larghezza
(mm)
Altezza
(mm)
VARS0008-026-00A 0.08 0.05 26 6.4 0.05 11.7 35 39.8 36.1
VARS0017-090-00A 0.17 0.1 90 11.1 0.1 17.8 70 41.5 39
VARS0022-032-00A 0.22 0.12 32 15.5 0.16 21.5 60 60 36
VARS0042-040-00A 0.42 0.38 40 3.5 0.12 38 82 53.6 30.3
VARS0077-020-00A 0.77 0.63 20 6.7 0.24 66 75 50 30
VARS0084-030-00A 0.84 0.6 30 6.3 0.2 50.4 75 48.9 30.6
VARS0120-020-00A 1.2 0.5 20 8.4 0.67 65 81 73.4 32
VARS0350-060-00A 3.5 1.6 60 26.3 0.4 350 ∮169.6 ∮169.6 63
VARS0706-014-00A 7.1 2.1 14 52.4 1.03 225.5 115 65 54.5
VARS4520-030-00A 45.2 19 30 71.5 4.3 1350 ∮240   78

Applicazioni:

Nei processi di ispezione dei difetti dei wafer e di confezionamento dei chip, i motori rotativi a bobina mobile, con una precisione di posizionamento angolare entro ±0,1°, azionano le sonde di ispezione per eseguire scansioni rotazionali ad alta frequenza e piccola ampiezza sulla superficie del wafer. Il suo design senza strutture di trasmissione meccanica elimina gli errori di gioco e, combinato con una velocità di risposta a livello di millisecondi, può catturare con precisione i dettagli fini dei circuiti dei chip, ottenendo il rilevamento dei difetti a livello di nanometri e fornendo un supporto fondamentale per il controllo della resa nella produzione di semiconduttori.

Motore a bobina mobile rotante ad alta precisione per apparecchiature di ispezione di wafer a semiconduttore 0