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Motore a bobina mobile rotante ad alta precisione per apparecchiature di ispezione di wafer a semiconduttore
| Luogo di origine | porcellana, Suzhou |
|---|---|
| Marca | SUPT MOTION |
| Certificazione | ISO9001-2000 |
| Numero di modello | Serie di VARS |
| Quantità di ordine minimo | 1 pezzo |
| Prezzo | $102-$210 |
| Imballaggi particolari | Cartone che imballa ecc. |
| Tempi di consegna | 1-5 pezzi, 5 giorni. >20 pezzi, da negoziare |
| Termini di pagamento | T/T |
| Capacità di alimentazione | Negoziabile |
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x| Peso | 65g | Lunghezza | 81 mm |
|---|---|---|---|
| Voltaggio | 8.4v | Modello del prodotto | VARS0120-020-00A |
| Forza di punta | 1,2 Nm | Ictus totale | 20 ° |
| Tipo | Micromotore | Materiale dell'alloggiamento | Alluminio |
| Tipo di movimento | Rotante |
| Modello | Prezzo | |
|---|---|---|
| VARS0022-0032-00B | 210 dollari. | |
| VARS0048-0030-00A | 175 dollari. | |
| VARS0706-0014-00A | $ 150 |
Caratteristiche:
- Nome del prodotto: Motore rotativo a bobina mobile
- Peso: 65g
- Dimensioni: 81*73.4*32mm
- Nome: Motore rotativo a bobina mobile
- Corsa: 20°
- Durata: 10000h
- Livello di vuoto: 10⁻⁶ Pa
- Tolleranza alle radiazioni: ≥10⁵ Gy
- Precisione di posizionamento: ±0,08°
- Gamma di coppia: 1,2 N·m
- Velocità di rotazione: 100-800 giri/min
- Grado di protezione: IP67 (sigillato sottovuoto)
- Caratteristica speciale: Motore a bobina mobile curva, VCM rotante, Motore rotativo a bobina mobile
Parametri tecnici:
| Parametri | Dettagli |
|---|---|
| Tipo | Motore rotativo a bobina mobile (Rotary VCM, Rotary voice coil Actuator) |
| Garanzia | 1 anno |
| Corsa | 20° |
| Coppia di picco | 1.2N-m |
| Rumore | Basso |
| Dimensioni | 81*73.4*32mm |
| Lunghezza | 81mm |
| Velocità | Alta |
| Peso | 65g |
| Voltaggio | 8.4V |
| Modello del prodotto | Coppia di picco (N-m) |
Coppia continua a 25℃(N-m) |
Corsa totale gradi ( grado) |
Voltaggio massimo (V) |
Costante EMF inversa (V/m/s) |
Peso della bobina(g) | Lunghezza (mm) |
Larghezza (mm) |
Altezza (mm) |
| VARS0008-026-00A | 0.08 | 0.05 | 26 | 6.4 | 0.05 | 11.7 | 35 | 39.8 | 36.1 |
| VARS0017-090-00A | 0.17 | 0.1 | 90 | 11.1 | 0.1 | 17.8 | 70 | 41.5 | 39 |
| VARS0022-032-00A | 0.22 | 0.12 | 32 | 15.5 | 0.16 | 21.5 | 60 | 60 | 36 |
| VARS0042-040-00A | 0.42 | 0.38 | 40 | 3.5 | 0.12 | 38 | 82 | 53.6 | 30.3 |
| VARS0077-020-00A | 0.77 | 0.63 | 20 | 6.7 | 0.24 | 66 | 75 | 50 | 30 |
| VARS0084-030-00A | 0.84 | 0.6 | 30 | 6.3 | 0.2 | 50.4 | 75 | 48.9 | 30.6 |
| VARS0120-020-00A | 1.2 | 0.5 | 20 | 8.4 | 0.67 | 65 | 81 | 73.4 | 32 |
| VARS0350-060-00A | 3.5 | 1.6 | 60 | 26.3 | 0.4 | 350 | ∮169.6 | ∮169.6 | 63 |
| VARS0706-014-00A | 7.1 | 2.1 | 14 | 52.4 | 1.03 | 225.5 | 115 | 65 | 54.5 |
| VARS4520-030-00A | 45.2 | 19 | 30 | 71.5 | 4.3 | 1350 | ∮240 | 78 |
Applicazioni:
Nei processi di ispezione dei difetti dei wafer e di confezionamento dei chip, i motori rotativi a bobina mobile, con una precisione di posizionamento angolare entro ±0,1°, azionano le sonde di ispezione per eseguire scansioni rotazionali ad alta frequenza e piccola ampiezza sulla superficie del wafer. Il suo design senza strutture di trasmissione meccanica elimina gli errori di gioco e, combinato con una velocità di risposta a livello di millisecondi, può catturare con precisione i dettagli fini dei circuiti dei chip, ottenendo il rilevamento dei difetti a livello di nanometri e fornendo un supporto fondamentale per il controllo della resa nella produzione di semiconduttori.
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