Motore a bobina vocale micro rotante ad alta precisione per ispezione e misurazione dei wafer

Nell'ispezione dei wafer e nelle attrezzature di metrologia, il motore a bobina vocale rotante è il componente principale per ottenere un'ispezione di scansione precisa.Sfruttando le sue caratteristiche di ampiezza di banda e di alta precisione, può guidare sonde di ispezione o lenti ottiche per eseguire scansioni rotazionali ad alta frequenza e a piccolo angolo intorno alla superficie del wafer.In combinazione con l'ottimizzazione degli algoritmi da parte di controllori di movimento specializzati, che consente l'identificazione dei difetti a livello nanometrico e la misurazione accurata.sopprime efficacemente le interferenze da vibrazioni, e garantisce la cattura precisa dei difetti su scala nanometrica durante l'ispezione dei difetti dei wafer e la scansione dei modelli di circuito.Risponde anche ai requisiti di movimento di rotazione di piattaforme di regolazione wafer a tre gradi di libertà, che consente di regolare finemente gli angoli lungo gli assi θx/θy, fornendo un supporto affidabile per il controllo della resa nei processi di produzione dei semiconduttori.