Motore a bobina vocale rotante ad alta frequenza micro-risonante utilizzato per l'imballaggio dei chip

In quanto componente di potenza ad azionamento diretto ad alta precisione, il motore a bobina vocale rotante svolge un ruolo chiave nella taratura dell'angolo del wafer durante il processo di allineamento e posizionamento del wafer,grazie ai suoi principali vantaggi di ±0.01° ripetibilità di rotazione, velocità di risposta a livello di millisecondi, funzionamento senza ingranaggi e bassa usura.le deviazioni angolari dei wafer influenzano direttamente la precisione dei processi successiviIl motore a bobina vocale rotante può guidare rapidamente lo stadio del wafer per eseguire regolazioni di rotazione a angolo sottile in base al feedback del sistema di posizionamento della visione,con un tempo di risposta inferiore a 10 ms, che garantisce l'allineamento preciso del wafer con la maschera litografica e il percorso di incisione.per il calcolo delle emissioni di carbonio,Inoltre, il suo design strutturale compatto consente l'integrazione in spazi di dispositivo limitati e si adatta ai requisiti di progettazione integrata della piattaforma di regolazione dei wafer.