Alta precisione di posizionamento e precisione di posizionamento motore a bobina vocale lineare

I motori a bobina vocale lineare hanno un albero di movimento incorporato e cuscinetti lineari di precisione.I motori a bobina vocale lineari hanno i vantaggi della risposta ad alta frequenza, alta precisione, alta velocità, alta accelerazione, struttura semplice, piccole dimensioni, buone caratteristiche di forza e facile controllo.
Con quasi l'80% della quota di mercato, la serie di attuatori cilindrici VCAB produce forze elevate ad elevate accelerazioni con forze di picco che vanno da 0,7 N a 3000 N.I mercati comprendono i semiconduttori mediciLe applicazioni includono i semiconduttori, i test e le ispezioni di precisione e il controllo del flusso delle valvole.
Motore a bobina vocale a asse lineare integrato in applicazioni per macchine di fotolitografia a semiconduttori:
La litografia è un'attrezzatura chiave nel processo di produzione dei semiconduttori, utilizzata per trasferire il modello di circuito alla wafer di silicio.Il processo di litografia richiede una precisione estremamente elevata e una risposta rapidaI motori a bobina vocale a asse lineari sono ideali per l'utilizzo nei sistemi di allineamento e di scansione della litografia a causa della loro elevata accelerazione, del controllo preciso della posizione e del movimento senza usura.
Il motore a bobina vocale lineare è un dispositivo di controllo del movimento progettato per fornire un'elevata ripetibilità.Disponibile a velocità fino a 100 Hz (RPM) e potenza nominale fino a 2500 NÈ una soluzione affidabile ed economica per una varietà di applicazioni di movimento lineare.

 

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