Attuatore a bobina vocale lineare ad alta risposta per l'ispezione di wafer a semiconduttore

Gli attuatori a bobina vocale lineari sono particolarmente adatti a processi di precisione come l'allineamento, la selezione e la movimentazione dei wafer nelle linee di produzione di semiconduttori.La loro reazione negativa zero e la loro elevata ripetibilità garantiscono operazioni di micro-sosposizione altamente accurateLa struttura di movimento senza attrito migliora ulteriormente la capacità di risposta dinamica, rendendoli attuatori ideali per sistemi di controllo industriali di precisione.

motore a bobina vocale lineare montato su un albero SUPT, modello VCAB0044-0075-00A,presenta un albero di movimento integrato combinato con cuscinetti lineari durevoli per fornire un movimento eccezionalmente liscio anche sotto elevati carichi dinamiciLa sua configurazione interna comprende un magnete permanente ad alta energia e una bobina mobile leggera.raggiungere un minimo di inerzia e consentire rapidi cambiamenti della forza di uscita, caratteristica essenziale degli attuatori a trazione diretta ad alte prestazioni.

A differenza dei sistemi convenzionali a vite o a ingranaggi, la serie VCAB elimina tutti gli elementi meccanici della trasmissione,fornire un vero funzionamento a reazione zero e ridurre gli errori di posizionamento causati da usura o attritoCon una risposta a livello di millisecondi, il motore eccelle nelle applicazioni che richiedono frequenti regolazioni della velocità, come la classificazione ad alta velocità, l'allineamento della visione macchina,e fasi di controllo del movimento di precisioneQuando integrato con il sensore a circuito chiuso, può ottenere un'eccellente precisione di posizionamento e ripetibilità.