Motore a bobina mobile lineare ad alta precisione di risposta per il controllo del micromovimento dei semiconduttori

Nei processi di produzione di semiconduttori come la lavorazione dei wafer, la litografia, l'ispezione e l'imballaggio, il controllo del microposizionamento richiede precisione estremamente elevata, risposta rapida e stabilità a lungo termine. I motori lineari a bobina mobile, caratterizzati da funzionamento ad azionamento diretto ed eccellenti prestazioni dinamiche, sono diventati una soluzione di attuazione ideale per il controllo di microspostamento nelle apparecchiature a semiconduttore.

I motori lineari a bobina mobile generano la spinta direttamente attraverso la forza elettromagnetica, consentendo un movimento lineare senza attrito e senza gioco con risoluzione di posizionamento a livello micrometrico o addirittura nanometrico. Rispetto ai tradizionali meccanismi a vite o servoazionati, i motori lineari a bobina mobile offrono precisione di posizionamento e ripetibilità superiori entro intervalli di corsa brevi. Sono particolarmente adatti per l'allineamento dei wafer, la messa a fuoco ottica, il controllo del contatto della sonda e le fasi di posizionamento di precisione.

Nelle applicazioni di scansione ad alta velocità e compensazione dinamica, i motori lineari a bobina mobile forniscono un'elevata accelerazione e una risposta ad alta frequenza, consentendo il tracciamento preciso dei comandi di controllo e una compensazione efficace per errori di sistema e disturbi ambientali. Il loro movimento fluido e a basse vibrazioni aiuta a ridurre al minimo i disturbi del processo nella fabbricazione di microstrutture e garantisce prestazioni di processo stabili.